共烧型压电陶瓷执行器

共烧型压电陶瓷执行器最大尺寸为7×7×36 mm3,最小为2×2×2 mm3,均由瓷片与Ag-Pd电极一体化共烧而成。产品位移大、响应快、推力大、发热很低、循环寿命可达109次,可用于半导体等精密加工设备、成像设备等的纳米驱动、定位和减震等领域。

共烧型压电陶瓷执行器规格系列

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规格型号 尺寸
±0.1(mm)
静态电容
±20%(uF)
电压
(V)
谐振频率
±20%(kHz)
位移
±10%(μm)
刚度
(N/μm)
推力
(N)
WHG2-2-2-120 2×2×2 0.2 120 150 1.5 100 150
WHG3-3-9-120 3×3×9 0.65 120 135 8 40 300
WHG3-3-13.5-120 3×3×13.5 0.9 120 90 12 25 300
WHG3-3-18-120 3×3×18 1.3 120 70 16 18 300
WHG5-5-9-120 5×5×9 0.8 120 135 8 100 800
WHG5-5-13.5-120 5×5×13.5 1.2 120 90 12 70 800
WHG5-5-18-120 5×5×18 1.6 120 70 18 45 800
WHG5-5-36-120 5×5×36 3.7 120 38 38 20 800
WHG7-7-18-120 7×7×18 3.8 120 70 18 100 1780
WHG7-7-36-120 7×7×36 8 120 38 38 45 1780
其余规格均可定制

服务热线

杨经理:18685196500

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